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质量流量控制器的作用是什么?质量流量控制器有哪些类型?
质量流量控制器的作用是什么?用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注
来源:迪族网
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